특허보유현황
전자현미경의 샘플홀더 기밀장치
출원인
한국기계연구원|한국기초과학지원연구원
등록상태
등록
출원번호
1020190111397
출원일
2019-09-09
공개번호
1020210030531
공개일
2021-03-18
등록번호
1023067310000
등록일
2021-09-23
IPC 분류
H01J 37/18|H01J 37/28
대표도면
요약
본 발명은 진공챔버 외부에 배치되는 홀더의 콤팩트한 구조를 만족하면서도 진공챔버 내부의 진공압이 홀더 측으로 누설되는 것을 차단할 수 있는 전자현미경의 샘플홀더 기밀장치를 제공함에 있다. 이를 위한 본 발명은 진공챔버에 결합되는 가이드컬럼; 및 샘플이 마련되는 팁이 구비되고, 상기 가이드컬럼을 관통하여 상기 팁이 상기 진공챔버의 내측으로 삽입되는 홀더;를 포함하고, 상기 가이드컬럼의 내면에 결합되고, 상기 홀더의 외면을 접촉 지지하며, 상기 진공챔버 내부의 진공압이 상기 가이드컬럼 및 상기 홀더 사이로 누설되는 것을 차단하는 기밀커넥터;를 더 포함하는 특징을 개시한다.
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