특허보유현황
광소결을 이용한 대면적 전도성 탄소 박막 제조방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020190118138
출원일
2019-09-25
등록번호
1022109600000
등록일
2021-01-27
IPC 분류
H10P 10/00|H10P 76/40
대표도면
요약
광소결을 이용한 대면적 전도성 탄소 박막 제조방법에서, 스테이지 상에 폴리머 소스를 위치시키고, 상기 폴리머 소스의 상부에 타겟 기판을 위치시키고, 상기 폴리머 소스를 향하여 광을 제공하여, 상기 타겟 기판의 표면에 전도성 탄소박막을 형성한다. 이 경우, 상기 폴리머 소스에 광이 제공됨에 따라, 상기 폴리머 소스가 열분해되어 탄소가 상기 타겟 기판의 표면으로 전사된다.
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