특허보유현황
멀티빔 생성과 스위치를 이용한 선택적 레이저 전사 장치 및 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020190130986
출원일
2019-10-21
공개번호
1020210047202
공개일
2021-04-29
등록번호
1023021400000
등록일
2021-09-08
IPC 분류
H10W 70/01|H10P 34/40|H10H 20/00|H10H 29/20|H01S 3/00
대표도면
요약
본 발명의 일 실시예에 따른 멀티빔 생성과 스위치를 이용한 레이저 전사 장치는, 레이저 빔을 생성하는 레이저 발진기, 상기 레이저 빔을 멀티빔으로 분할하는 멀티빔 생성 광학계, 상기 멀티빔의 각 개별 요소 빔을 선택적으로 개폐하는 광학 스위치, 전사 기판과 타겟 기판을 2축 방향으로 이송하는 스테이지, 및 전사 대상 포인트의 위치를 설정하고 상기 위치 신호를 상기 광학 스위치와 상기 스테이지에 전송하여, 상기 위치 신호에 따른 상기 스테이지의 구동과 상기 멀티빔의 각 개별 요소 빔의 개폐를 제어하는 제어기를 포함한다.
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