특허보유현황
※ 본 공고는 설정등록된 특허(특허법 제87조)를 기준으로 작성되었으며, 최신 특허출원은 설정등록 이후 순차적으로 반영됩니다.
전사용 스탬프 제조방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020190135836
출원일
2019-10-29
공개번호
1020210052657
공개일
2021-05-11
등록번호
1022524310000
등록일
2021-05-10
IPC 분류
B29C 43/02|B29C 43/20|B29C 43/36|B29C 33/38|G03F 7/00|C08L 67/02|B29K 67/00
대표도면
요약
본 발명은 경화 과정에서 발생되는 수축 현상을 최소화하여 패턴의 위치 정밀도를 높일 수 있는 전사용 스탬프 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 전사용 스탬프를 제공함에 있다. 이를 위한 본 발명은 패턴을 가지는 기판몰드를 형성하는 기판몰드 형성단계; 미리 설정된 경화조건에서 제1 수축률을 가지는 제1 소재를 상기 기판몰드 상에 배치하는 제1 소재 배치단계; 상기 경화조건에서 상기 제1 수축률보다 작은 제2 수축률을 가지는 제2 소재를 상기 제1 소재 상에 배치하는 제2 소재 배치단계; 상기 제2 소재를 상기 기판몰드에 밀착시켜 상기 기판몰드의 패턴 형상과 상응하는 형상으로 상기 제1 소재를 형성하는 패턴 형성단계; 및 상기 경화조건에 따라 상기 제1 소재 및 상기 제2 소재를 경화시키는 소재 경화단계;를 포함하는 특징을 개시한다.
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