특허보유현황
금속나노와이어 전극 제조방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020190135872
출원일
2019-10-29
공개번호
1020210051073
공개일
2021-05-10
등록번호
1023404150000
등록일
2021-12-13
IPC 분류
H01B 13/00|H10F 77/20
대표도면
요약
본 발명은 포토리소그래피와 같이 고가의 패터닝 장비를 이용하지 않더라도 품질의 신뢰성을 높일 수 있는 금속나노와이어 전극 제조방법을 제공함에 있다. 이를 위한 본 발명은 마스터기판 상에 금속나노와이어층을 배치하는 금속나노와이어층 배치단계; 상기 금속나노와이어층을 향하여 음각 패터닝된 스탬프를 압착 및 분리시키며 상기 금속나노와이어층에서 비패턴 영역을 제거하는 패턴 형성단계; 패턴이 형성된 상기 금속나노와이어층 상에 폴리머 및 기판을 차례로 배치하고, 상기 폴리머 내부에 상기 금속나노와이어층이 매립되는 동시에 상기 폴리머와 상기 기판이 접합되도록 상기 기판을 가압하는 기판 가압단계; 상기 폴리머를 경화시키는 폴리머 경화단계; 및 상기 금속나노와이어층이 매립된 전극필름으로부터 상기 마스터기판을 분리하는 마스터기판 분리단계를 포함하는 특징을 개시한다.
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