특허보유현황
캐리어 기판 및 이를 이용한 소자 전사방법
출원인
한국기계연구원|재단법인 파동에너지 극한제어 연구단
등록상태
등록
출원번호
1020190146644
출원일
2019-11-15
공개번호
1020210059333
공개일
2021-05-25
등록번호
1022796430000
등록일
2021-07-14
IPC 분류
H10W 70/69|H10W 78/00|H10H 20/81
대표도면
요약
본 발명의 일실시예는 전사공정 시 소자의 파손을 방지하고, 전사 수율 및 전사 정밀도가 향상되도록 하는 캐리어 기판 및 이를 이용한 소자 전사방법을 제공한다. 여기서, 캐리어 기판은 베이스층, 반사방지층 그리고 에너지 흡수층을 포함한다. 반사방지층은 베이스층의 일면에 마련되고, 점착되는 소자의 소스기판을 통해 입사되어 소자를 투과되는 제1레이저빔에 의해 발생되는 탄성파가 소자 방향으로 반사되지 않고 베이스층으로 투과되도록 한다. 에너지 흡수층은 베이스층 및 반사방지층의 사이에 마련되되, 소자와 정렬되며, 에너지를 흡수하면 증발된다.
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