특허보유현황
마이크로 소자의 간격 조절 전사방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020190171173
출원일
2019-12-19
공개번호
1020210079486
공개일
2021-06-30
등록번호
1023510450000
등록일
2022-01-10
IPC 분류
H10P 54/00|H10P 72/70|H10P 72/00
대표도면
요약
본 발명의 일실시예는 마이크로 소자를 원하는 간격으로 배열되도록 조절하고 이렇게 조절된 상태로 전사되도록 마이크로 소자의 간격 조절 전사방법 및 이에 사용되는 전사필름을 제공한다. 여기서, 마이크로 소자의 간격 조절 전사방법은 마이크로 소자가 점착되는 상부에는 제1방향을 따라 형성되고, 전사필름의 상부로부터 미리 정해진 전면홈깊이로 형성되는 제1방향 전면홈선을 가지고, 하부에는 제1방향 전면홈선의 사이에서 제1방향으로 형성되고, 전사필름의 하부로부터 미리 정해진 배면홈깊이로 형성되는 제1방향 배면홈선을 가지는 전사필름을 마련하고, 전사필름의 상부에 복수의 마이크로 소자를 포함하는 마이크로 소자 어레이를 점착시키고, 마이크로 소자 어레이가 각각의 마이크로 소자로 분리되도록 마이크로 소자 어레이를 제1방향 전면홈선에 대응되도록 절단하고, 전사필름을 제1방향에 교차하는 제2방향으로 인장시켜 마이크로 소자를 목표간격만큼 이격시키고, 마이크로 소자를 타깃기판에 목표간격으로 전사시킨다.
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