특허보유현황
정렬 기능이 포함된 임프린트 장치 및 임프린트 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020200016166
출원일
2020-02-11
공개번호
1020210101784
공개일
2021-08-19
등록번호
1023028460000
등록일
2021-09-10
IPC 분류
G03F 7/00|G03F 9/00|B29C 59/02|B82Y 40/00
대표도면
요약
본 발명은 하나의 임프린트 장치에서 스탬프와 기판의 위치 정렬이 이루어지고, 스탬프와 기판을 서로 가압하는 동안 정렬 위치 측정 장치를 통해 스탬프와 기판의 정렬 상태를 확인한 후 기판 상에 도포된 레지스트를 경화시킴으로써, 스탬프와 기판의 가압 과정에서 발생 가능한 스탬프와 기판의 위치가 서로 어긋나는 것을 최소화시킬 수 있으며, 이에 따라 스탬프와 기판의 정렬이 유지된 상태에서 임프린트 공정을 수행할 수 있는 정렬 기능이 포함된 임프린트 장치 및 임프린트 방법에 관한 것이다.
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