특허보유현황
하이브리드 플라즈마 장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020200039835
출원일
2020-04-01
공개번호
1020210122546
공개일
2021-10-12
등록번호
1024237710000
등록일
2022-07-15
IPC 분류
H05H 1/46|H05H 1/48
대표도면
요약
본 발명의 목적은 방전가스를 아크플라즈마 상태로 방전시키고 이 아크플라즈마를 유도결합플라즈마에 점화원으로 제공하여, 유도결합플라즈마의 대기압 방전점화를 가능하게 하고 방전을 안정화시키는 하이브리드 플라즈마 장치를 제공하는 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드 플라즈마 장치는, 방전가스의 고전압 아크플라즈마 방전으로 아크플라즈마를 발생시키는 아크플라즈마 발생부, 및 상기 아크플라즈마 발생부에 연결되어 상기 아크플라즈마를 점화원으로 하고 대기압 하에서 고전류 유도결합플라즈마 방전으로 유도결합플라즈마를 발생시켜 하이브리드 단일 플라즈마를 토출하는 유도결합플라즈마 발생부를 포함한다.
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