특허보유현황
다중 미세채널이 형성된 미세소자의 제조방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020200043145
출원일
2020-04-09
등록번호
1023076500000
등록일
2021-09-27
IPC 분류
B82B 3/00|G03F 7/00|B29C 59/00|B29C 59/02|B01L 3/00|B82Y 40/00
대표도면
요약
다중 미세채널이 형성된 미세소자의 제조방법에서, 템플릿 기판으로 임프린팅하여, 베이스 기판 상의 타깃 물질에 미세패턴을 형성한다. 미세 구조체를 상기 미세 패턴에 위치시킨다. 상기 미세 구조체 및 상기 미세 패턴의 상부로 액체 소재를 제공한다. 평탄화 기판으로 상기 액체 소재를 압착하여 평탄화시킨다. 상기 미세 구조체를 제거한다.
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