특허보유현황
나노 구조체 기판 및 이의 제조방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020200050651
출원일
2020-04-27
등록번호
1022820350000
등록일
2021-07-21
IPC 분류
B82B 3/00|G03F 7/20|G03F 7/30
대표도면
요약
본 발명의 일실시예는 나노 구조체의 층별 성장을 유도하고, 넓은 면적에서도 균일한 나노 간극을 가질 수 있는 나노 구조체 기판 및 이의 제조방법을 제공한다. 여기서, 나노 구조체 기판은 베이스 기판, 반응 방지층 그리고 나노 구조체를 포함한다. 반응 방지층은 베이스 기판의 일면에 마련되고 제1금속 소재로 형성된다. 나노 구조체는 반응 방지층의 일면에 서로 이격되어 구비되는 제2금속 소재의 시드층과, 제1금속 소재로 형성되고 시드층의 일면에 시드층과 갈바닉 치환 반응되어 마련되는 복수의 나노 입자를 가진다.
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