특허보유현황
광학식 리소그래피 장치 및 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020200053441
출원일
2020-05-04
공개번호
1020210135127
공개일
2021-11-12
등록번호
1024688020000
등록일
2022-11-15
IPC 분류
G03F 7/20|G03F 9/00
대표도면
요약
본 발명은 레지스트 경화용 광을 조사하는 광원; 상기 광원과 이격되어 배치되며, 상기 광원에서 조사된 광을 반사시키는 반사미러; 및 상기 반사미러와 이격되어 배치되며, 상기 반사미러에 의해 반사된 광을 받아 광점이 맺히도록 집광하는 집광렌즈; 를 포함하고, 상기 광원, 반사미러 및 집광렌즈 중 어느 하나 이상은 주기적으로 구동 가능하게 형성되어, 상기 집광렌즈에 의해 맺히는 광점이 시간에 따라 3차원 공간상에서 특정한 궤적을 갖고 이동되도록 광학식 리소그래피 장치가 구성됨으로써, 다양한 크기와 형태의 광점을 형성할 수 있으며 이에 따라 리소그래피 공정을 효율적으로 수행할 수 있는 광학식 리소그래피 장치 및 방법에 관한 것이다.
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