특허보유현황
임프린트 장치용 롤 스탬프 및 이의 제조방법
출원인
한국재료연구원
등록상태
등록
출원번호
1020200063127
출원일
2020-05-26
공개번호
1020200062141
공개일
2020-06-03
등록번호
1023304510000
등록일
2021-11-19
IPC 분류
G03F 7/00|B29C 59/04|H10P 72/00|G03F 7/16
대표도면
요약
본 발명은 외측에 음각 패턴을 포함하고, 내측에 중공부를 포함하는 원통형 금속 몰드; 및 상기 중공부에 삽입된 더미 롤러를 포함하는 롤 스탬프 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 상기 원통형 금속 몰드의 전면적에 접합부가 없어, 에지 영역들이 분리되는 문제점이 없으며, 또한, 접합부가 없으므로, 연속적으로 패터닝 공정을 수행할 수 있다.
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