특허보유현황
나노 필름 박리방법, 이를 포함하는 나노 필름 제조방법, 나노 필름 박리장치 및 나노 필름 박리장치를 포함하는 나노 필름 제조장치
출원인
한국기계연구원|재단법인 파동에너지 극한제어 연구단
등록상태
등록
출원번호
1020200082148
출원일
2020-07-03
등록번호
1023287550000
등록일
2021-11-15
IPC 분류
B82B 1/00|C01B 32/19|C01G 39/06|C01B 21/064|B82Y 40/00
대표도면
요약
본 발명의 일실시예는 나노 필름의 파손을 방지하고, 원하는 부분을 안정적으로 박리시킬 수 있으며, 기판을 재사용할 수 있는 나노 필름 박리방법, 이를 포함하는 나노 필름 제조방법, 나노 필름 박리장치 및 나노 필름 박리장치를 포함하는 나노 필름 제조장치를 제공한다. 여기서, 나노 필름 박리방법은 일면에 나노 필름이 형성된 기판을 준비하는 단계와, 전사 필름의 일면을 나노 필름에 점착시키고, 전사 필름 및 기판의 경계영역을 박리촉진유체에 접촉시키는 단계와, 기판으로부터 전사 필름을 분리시키고, 분리된 기판 및 전사 필름의 사이로 박리촉진유체가 스며들어 나노 필름에 도달하도록 하는 단계와, 기판으로부터 전사 필름을 지속적으로 분리시켜 나노 필름의 가장자리가 기판으로부터 박리되도록 하고, 나노 필름이 박리되면서 드러나는 기판 및 나노 필름의 사이로 박리촉진유체가 스며들도록 하는 단계와, 전사 필름을 지속적으로 박리시켜 박리촉진유체가 계속해서 스며들게 하여 나노 필름 및 기판 사이의 점착력이 낮아져 나노 필름의 박리가 촉진되도록 하면서 나노 필름을 박리시키는 단계를 포함한다.
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