특허보유현황
리튬 친화형 표면을 갖는 미세패턴 제조시스템 및 이를 이용한 미세패턴 제조방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020200084554
출원일
2020-07-09
공개번호
1020220006764
공개일
2022-01-18
등록번호
1023971700000
등록일
2022-05-09
IPC 분류
H01M 4/70|H01M 4/66|H01M 4/139|H01M 4/04|H01M 10/052|H01M 4/02
대표도면
요약
리튬 친화형 표면을 갖는 미세패턴 제조시스템 및 이를 이용한 미세패턴 제조방법에서, 상기 미세패턴 제조시스템은 제공롤, 인쇄유닛, 가스 제공부, 광원부 및 회수롤을 포함한다. 상기 제공롤은 기판을 연속으로 제공한다. 상기 인쇄유닛은 상기 기판 상에 제1 미세 패턴을 형성한다. 상기 가스 제공부는 상기 제1 미세 패턴이 형성된 기판 상에 전구체 가스를 제공한다. 상기 광원부는 상기 전구체 가스의 제공과 함께 상기 제1 미세 패턴으로 광을 제공하여, 상기 제1 미세 패턴 상에 표면 작용기가 형성되는 제2 미세 패턴을 형성한다. 상기 회수롤은 상기 기판을 연속으로 회수한다.
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