특허보유현황
임프린팅 장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020200090445
출원일
2020-07-21
공개번호
1020220011853
공개일
2022-02-03
등록번호
1024422220000
등록일
2022-09-05
IPC 분류
G03F 7/20|G03F 7/00
대표도면
요약
본 발명은 기판 및 스탬프가 근접 이동하는 과정에서 기판 및 스탬프 간의 평행 상태를 유지하도록 하여, 기판 및 스탬프의 완전 동시 접촉을 유도하고, 접촉 과정에서 슬립 현상을 방지하고 균일한 압력으로 가압될 수 있도록 하는 임프린팅 장치 및 임프린팅 방법을 제공함에 있다. 이를 위한 본 발명은 기판이 장착되는 기판플랫폼; 상기 기판플랫폼과 마주보도록 배치되며, 스탬프가 장착되는 스탬프플랫폼; 복수의 위치에서 상기 기판플랫폼 및 상기 스탬프플랫폼 간의 이격거리를 측정하도록 배치되는 복수의 변위센서; 상기 기판플랫폼의 둘레를 따라 이격되게 설치되고, 상기 복수의 변위센서의 출력이 서로 동일해지도록 상기 기판플랫폼 및 상기 스탬프플랫폼 간의 이격거리를 조정하는 복수의 제1구동부; 및 상기 스탬프플랫폼을 상기 기판플랫폼 방향으로 이동시키는 제2구동부;를 포함하는 임프린팅 장치 및 이를 이용한 임프린팅 방법을 제공한다.
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