특허보유현황
복합 나노패턴 임프린트 템플레이트 제조방법 및 이에 의해 제조된 복합 나노패턴 임프린트 템플레이트
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020200093305
출원일
2020-07-27
등록번호
1022958330000
등록일
2021-08-25
IPC 분류
G03F 7/00
대표도면
요약
본 발명의 일 실시예에 따르면, 복합 나노패턴 임프린트 템플레이트를 제조하는 방법으로서, 제1 나노패턴이 형성된 제1 마스크, 및 제1 마스킹 필름을 이용하여 기재의 표면에 제1 나노패턴을 형성하는 단계; 및 제2 나노패턴이 형성된 제2 마스크, 및 제2 마스킹 필름을 이용하여 상기 기재의 표면 중 제1 나노패턴이 형성되지 않은 영역에 제2 나노패턴을 형성하는 단계;를 포함하는 복합 나노패턴 임프린트 템플레이트 제조 방법을 개시한다.
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