특허보유현황
※ 본 공고는 설정등록된 특허(특허법 제87조)를 기준으로 작성되었으며, 최신 특허출원은 설정등록 이후 순차적으로 반영됩니다.
소자 리페어 장치
출원인
한국기계연구원|재단법인 파동에너지 극한제어 연구단
등록상태
등록
출원번호
1020200110491
출원일
2020-08-31
공개번호
1020220028883
공개일
2022-03-08
등록번호
1024358830000
등록일
2022-08-19
IPC 분류
H05K 13/04|H05K 3/34|H05K 1/11
대표도면
요약
본 발명의 일실시예는 신규 소자의 파손이 방지되도록 하고, 안전한 리페어 공정이 수행될 수 있도록 하는 소자 리페어 장치를 제공한다. 여기서, 소자 리페어 장치는 접속소재 전사용 스탬프 그리고 소자 전사용 스탬프를 포함한다. 접속소재 전사용 스탬프는 기판 상에서 소자가 전사되지 않은 리페어 영역에 신규 접속소재를 전사한다. 소자 전사용 스탬프는 신규 접속소재에 신규 소자를 전사한다. 소자 전사용 스탬프는, 가압력이 가해지면 굽힘 변형되어 신규 소자의 파손 한계 하중보다 작은 제로강성(Zero Stiffness) 하중이 신규 소자에 가해지도록 하는 소자용 하중 제어부를 가진다.
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