특허보유현황
불량 소자 제거용 스탬프 및 이를 포함하는 불량 소자 제거용 장치
출원인
한국기계연구원|재단법인 파동에너지 극한제어 연구단
등록상태
등록
출원번호
1020200114156
출원일
2020-09-07
공개번호
1020220032415
공개일
2022-03-15
등록번호
1024596160000
등록일
2022-10-24
IPC 분류
H05K 13/04
대표도면
요약
본 발명의 일실시예는 기판 상의 불량 소자를 안정적으로 제거할 수 있는 불량 소자 제거용 스탬프 및 이를 포함하는 불량 소자 제거용 장치를 제공한다. 여기서, 불량 소자 제거용 스탬프는 스탬프 몸체부, 점착층 그리고 가열부를 포함한다. 스탬프 몸체부는 기판의 불량 소자가 삽입되도록 하부에 삽입홈을 가진다. 점착층은 불량 소자가 삽입홈에 삽입되면 접촉되도록 삽입홈에 구비된다. 가열부는 스탬프 몸체부에 구비되고, 불량 소자가 점착층에 점착되도록 점착층을 가열한다.
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