특허보유현황
유전체 격벽 방전 플라즈마 반응기
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020200116178
출원일
2020-09-10
공개번호
1020220033834
공개일
2022-03-17
등록번호
1024588770000
등록일
2022-10-20
IPC 분류
H01J 37/32
대표도면
요약
유전체 격벽 방전 플라즈마 반응기는 방전부와 가스 주입부 및 팬을 포함한다. 방전부는 유전체에 의해 분리된 제1 전극과 제2 전극을 포함하며, 제1 전극과 제2 전극의 전압 차에 의해 유전체와 이웃한 방전 공간의 가스를 이온화하여 플라즈마를 생성한다. 가스 주입부는 방전 공간으로 가스를 주입하도록 제공된다. 팬은 방전 공간에서 방전부와 거리를 두고 위치하며, 복수의 날개를 구비하고, 방전부에 의해 생성된 플라즈마를 회전에 의해 처리 대상물을 향해 불어낸다.
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