특허보유현황
디지털 노광 시스템
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020200147898
출원일
2020-11-06
공개번호
1020220061667
공개일
2022-05-13
등록번호
1024934110000
등록일
2023-01-25
IPC 분류
G03F 7/20
대표도면
요약
본 발명의 일 실시예에 따른 디지털 노광 시스템은 노광 대상물이 탑재되는 지지부, 상기 노광 대상물을 노광하는 노광 헤드, 그리고 상기 노광 헤드의 위치를 제어하는 헤드 위치 제어부를 포함하고, 상기 노광 헤드는 헤드 본체, 상기 헤드 본체에 설치되며 상기 노광 대상물에 빛을 조사하는 복수개의 LED 패널, 그리고 상기 복수개의 LED 패널에 각각 설치되며 상기 복수개의 LED 패널의 위치를 조절하는 패널 위치 제어부를 포함하고, 상기 복수개의 LED 패널은 소정 간격 이격되어 위치한다.
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