특허보유현황
X-Y 스테이지 요 보정 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020200174256
출원일
2020-12-14
공개번호
1020220084609
공개일
2022-06-21
등록번호
1024585150000
등록일
2022-10-20
IPC 분류
B23Q 1/44|F16M 11/12|F16M 11/18|H02N 2/00|H02N 2/04
대표도면
요약
본 명세서에 개시된 기술은 X-Y 스테이지 요(yaw) 보정 방법으로서, 구동기를 이용하여 XY 이동 본체(moving body)를 X축 또는 Y축 방향으로 이동시키는 단계; 센서를 이용하여, 상기 이동된 XY 이동 본체의 회전 변위인 요(yaw)를 측정하는 단계; 제어기(controller)가 상기 측정된 요 데이터를 이용하여 보정될 회전 강성 값을 연산하는 단계; 및 상기 보정될 회전 강성 값에 대응하는 강성을 가진 요 보정 플렉셔(yaw correction flexures)를 상기 X-Y 스테이지에 부가하는 단계를 포함할 수 있다.
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