특허보유현황
마스크 정렬을 위한 Z/Tilt 스테이지 및 제어 시스템
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020200174266
출원일
2020-12-14
공개번호
1020220084617
공개일
2022-06-21
등록번호
1025489490000
등록일
2023-06-23
IPC 분류
G03F 7/20|G03F 1/84
대표도면
요약
본 명세서에 개시된 기술은 마스크 정렬을 위한 Z/Tilt 스테이지로서, 플랫폼의 이동 및 틸팅(tilting)을 위한 하나 이상의 Z축 선형 스테이지; 및 상기 플랫폼의 이동 및 틸팅을 가이드하도록 구성된 하나 이상의 Z/Tilt 플렉셔(flexures)를 포함하고, 상기 Z축 선형 스테이지는: 본체(body); 상기 Z축 선형 스테이지의 Z축 방향 외 이송을 제한하는 Z축 가이드 플렉셔; 및 상기 Z축 선형 스테이지에 구동력을 인가하는 구동부를 포함할 수 있다.
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