특허보유현황
돌출 전극을 갖는 스크러버, 이를 포함하는 스크러버 시스템, 스크러버 구동 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020210007065
출원일
2021-01-18
공개번호
1020220036827
공개일
2022-03-23
등록번호
1025208180000
등록일
2023-04-07
IPC 분류
B01D 53/32|H05H 1/34|B01D 53/70
대표도면
요약
본 발명은 아크의 집중을 방지하고 전극 및 하우징의 식각을 최소화할 수 있는 스크러버를 제공한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 돌출 전극을 갖는 스크러버는 플라즈마 아크를 발생시키는 플라즈마 발생기, 및 상기 플라즈마 발생기와 연결되며 처리가스의 분해 공간을 제공하는 반응기를 포함하고, 상기 플라즈마 발생기는, 구동 전압이 인가되는 전극, 및 상기 전극을 감싸며 방전 공간을 형성하는 하우징을 포함하고, 상기 전극은 상기 하우징의 하단에서 돌출되어 상기 반응기 내부로 삽입될 수 있다.
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