특허보유현황
※ 본 공고는 설정등록된 특허(특허법 제87조)를 기준으로 작성되었으며, 최신 특허출원은 설정등록 이후 순차적으로 반영됩니다.
돌출 전극을 갖는 스크러버, 이를 포함하는 스크러버 시스템, 스크러버 구동 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020210007065
출원일
2021-01-18
공개번호
1020220036827
공개일
2022-03-23
등록번호
1025208180000
등록일
2023-04-07
IPC 분류
B01D 53/32|H05H 1/34|B01D 53/70
대표도면
요약
본 발명은 아크의 집중을 방지하고 전극 및 하우징의 식각을 최소화할 수 있는 스크러버를 제공한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 돌출 전극을 갖는 스크러버는 플라즈마 아크를 발생시키는 플라즈마 발생기, 및 상기 플라즈마 발생기와 연결되며 처리가스의 분해 공간을 제공하는 반응기를 포함하고, 상기 플라즈마 발생기는, 구동 전압이 인가되는 전극, 및 상기 전극을 감싸며 방전 공간을 형성하는 하우징을 포함하고, 상기 전극은 상기 하우징의 하단에서 돌출되어 상기 반응기 내부로 삽입될 수 있다.
전문보기
기술이전 상담신청