특허보유현황
임프린팅 장치 및 임프린팅 방법
출원인
주식회사 고영테크놀러지|한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020210041114
출원일
2021-03-30
공개번호
1020220135444
공개일
2022-10-07
등록번호
1025985650000
등록일
2023-11-01
IPC 분류
G03F 7/00
대표도면
요약
본 개시의 실시예에 따른 임프린팅 장치는 스탬프가 장착 가능하게 구성되는 스탬프 홀더; 상기 스탬프 홀더에 대해 제1 방향에 배치되고, 기판을 장착 가능하게 구성되는 기판 홀더; 상기 기판 홀더에 장착된 상기 기판을 향해 자외선을 방출하도록 구성된 자외선 방출부; 및 상기 기판 홀더와 상기 스탬프 홀더에 장착된 상기 스탬프가 서로 접촉하도록 상기 기판 홀더 및 상기 스탬프 홀더 중 적어도 하나를 이동시킬 수 있도록 구성된 가압 모듈을 포함하고, 상기 기판 홀더와 상기 스탬프 홀더가 소정 거리 이상 서로 이격된 상태에서, 상기 스탬프를 상기 스탬프 홀더에 장착 가능하게 구성된다.
전문보기
기술이전 상담신청