특허보유현황
소자 전사용 무강성 패드, 소자 전사용 무강성 패드의 제조방법 및 소자 전사용 무강성 패드를 포함하는 소자 전사용 무강성 패드군
출원인
재단법인 파동에너지 극한제어 연구단|한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020210045824
출원일
2021-04-08
공개번호
1020210127097
공개일
2021-10-21
등록번호
1025573370000
등록일
2023-07-14
IPC 분류
H10P 72/00|B29C 35/02|B29C 33/38
대표도면
요약
본 발명의 일실시예는 소자가 전사될 타깃기판과 소자 사이에 균일한 접촉압력이 제공되도록 하는 소자 전사용 무강성 패드, 소자 전사용 무강성 패드의 제조방법 및 소자 전사용 무강성 패드를 포함하는 소자 전사용 무강성 패드군을 제공한다. 여기서, 소자 전사용 무강성 패드는 베이스판 그리고 베이스판의 일면에 일단부가 연결되고 돌출 형성되어 외력이 가해지면 굽힘 변형되는 복수의 기둥을 포함하고, 타깃기판에 전사될 복수의 소자가 점착된 전사필름과, 복수의 소자가 타깃기판에 전사되도록 가압력을 제공하는 가압부의 사이에 배치되고, 가압부의 가압력이 제공되면 굽힘 변형되어 복수의 소자와 타깃기판 사이에 균일한 접촉압력이 제공되도록 한다.
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