특허보유현황
틸트 구조를 갖는 가압 장치 및 이의 제어 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020210070841
출원일
2021-06-01
공개번호
1020220162407
공개일
2022-12-08
등록번호
1026031920000
등록일
2023-11-13
IPC 분류
G03F 7/00|G03F 7/20|H10P 72/00
대표도면
요약
본 발명의 틸트 구조를 갖는 가압 장치는 2자유도를 갖고 회전될 수 있으며 가압하고자 하는 제1대상물을 장착할 수 있는 스테이지가 구비된 짐벌 구조체; 상기 스테이지의 움직임을 고정 및 해제시킬 수 있는 스테이지 스토퍼; 및 가압하고자 하는 제2대상물을 장착할 수 있으며, 제2대상물을 제1대상물 쪽으로 접근시켜 접촉 및 가압할 수 있는 가압부; 를 포함하여 이루어지며, 이를 이용해 제1대상물과 제2대상물이 접촉될 때 스테이지가 구속 없이 자유롭게 회전되어 가압하고자 하는 두 평면이 평행한 상태로 접촉될 수 있어, 전 면적에 걸쳐서 균일한 힘이 인가될 수 있는 틸트 구조를 갖는 가압 장치 및 이의 제어 방법에 관한 것이다.
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