특허보유현황
※ 본 공고는 설정등록된 특허(특허법 제87조)를 기준으로 작성되었으며, 최신 특허출원은 설정등록 이후 순차적으로 반영됩니다.
흡탈착식 유동층 반응기를 포함한 스크러버 장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020210088864
출원일
2021-07-07
공개번호
1020230008337
공개일
2023-01-16
등록번호
1025640470000
등록일
2023-08-01
IPC 분류
B01D 53/04|B01J 8/26|B01J 8/38|B01J 8/00|B01J 8/42|B01J 19/08
대표도면
요약
본 발명의 목적은 난분해성 가스의 제거에 필요한 에너지를 낮추기 위해서, 반도체나 디스플레이 공정의 배출가스에서 난분해성 가스를 분리하여 제거하도록 흡탈착식 유동층 반응기를 포함한 스크러버 장치를 제공하는 것이다. 본 발명의 흡탈착식 유동층 반응기를 포함한 스크러버 장치는, 유입구로 공급되는 배출가스를 흡착제에 통과시켜 배출가스에 포함된 난분해성 가스를 흡착제에 흡착하고 나머지 가스를 배출하는 흡착부, 상기 흡착부에서 공급되는 난분해성 가스가 흡착된 흡착제를 가열하여 흡착제와 난분해성 가스를 분리하여 흡착제를 재생하는 분리 재생부, 상기 분리 재생부에서 재생된 흡착제를 상기 흡착부로 재순환 공급하는 순환부, 및 상기 분리 재생부에서 분리되어 공급되는 고농도의 난분해성 가스를 제거하는 제거부를 포함한다.
전문보기
기술이전 상담신청