특허보유현황
두께가 제어된 금속-칼코게나이드 박막의 제조방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020210106064
출원일
2021-08-11
공개번호
1020230024477
공개일
2023-02-21
등록번호
1025818320000
등록일
2023-09-19
IPC 분류
C01G 39/06|C01G 41/00|H10P 10/00
대표도면
요약
본 발명의 일실시예는 (i) 금속을 포함하는 전구체 박막을 형성하는 단계; (ii) 상기 전구체 박막을 칼코겐 원자-함유 기체 및 비활성 가스의 플라즈마로 처리하여 금속-칼코게나이드 박막을 형성하는 단계; 및 (iii) 상기 금속-칼코게나이드 박막을 플루오르화 탄소, 산소, 및 비활성 가스 혼합물의 플라즈마로 식각하여 목적하는 두께로 형성하는 단계를 포함하는, 금속-칼코게나이드 박막 제조방법을 제공한다.
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