특허보유현황
식각 장치 및 이를 포함하는 인터포저 제조 시스템
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020210119154
출원일
2021-09-07
등록번호
1024232920000
등록일
2022-07-15
IPC 분류
H10P 72/00|H10W 20/00|H10W 70/692|H10W 70/62
대표도면
요약
본 발명의 일 실시예에 따른 식각 장치는, 식각 용액이 채워지며, 상기 식각 용액으로 레이저 빔에 의해 형성된 복수의 손상 라인을 가지는 유리 인터포저를 식각하는 식각 용기, 상기 식각 용기를 덮는 용기 덮개, 상기 용기 덮개에 설치되며 상기 식각 용기 내부의 압력을 일정하게 유지시키는 안전 밸브, 그리고 100도 이상의 끓는 점을 가지는 열매체유가 채워지며, 상기 식각 용기가 열매체유에 담겨져 중탕으로 상기 식각 용기 내부의 온도를 조절하는 온도 조절 챔버를 포함하고, 상기 식각 용기 내부의 식각 용액은 100도 이상 끓는점 미만의 온도를 유지하며 상기 손상 라인을 식각하여 상기 손상 라인을 비아홀로 형성한다.
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