특허보유현황
영전자석을 이용한 자기부상식 웨이퍼 이송 장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020210119806
출원일
2021-09-08
공개번호
1020230036836
공개일
2023-03-15
등록번호
1025788580000
등록일
2023-09-11
IPC 분류
H10P 72/30|H10P 72/00|B65G 49/06|B65G 54/02|B65G 43/08
대표도면
요약
본 발명은 영전자석을 이용한 자기부상식 웨이퍼 이송 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 영전자석을 이용한 자기부상식 웨이퍼 이송 장치는 가이드레일; 상기 가이드레일 상에 이동가능하게 설치되고, 웨이퍼가 안착되는 웨이퍼 스테이지; 상기 웨이퍼 스테이지에 설치되고, 상기 웨이퍼 스테이지의 이동 시에 전류가 인가되어 상기 웨이퍼 스테이지가 상방으로 이격되게 하는 영전자석; 및 상기 웨이퍼 스테이지에 설치되고, 상기 웨이퍼 스테이지가 상기 가이드레일 상에서 이동되게 동력을 제공하는 구동부를 포함할 수 있다.
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