특허보유현황
액정 셔터 어레이를 포함하는 디지털 노광장치 및 이를 이용한 노광방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020210134425
출원일
2021-10-08
공개번호
1020230050979
공개일
2023-04-17
등록번호
1026658790000
등록일
2024-05-08
IPC 분류
G03F 7/20|G02F 1/139|G02F 1/141
대표도면
요약
액정 셔터 어레이를 포함하는 디지털 노광장치 및 이를 이용한 노광방법에서, 상기 디지털 노광장치는 광원부, 셔터유닛 및 렌즈유닛을 포함한다. 상기 광원부는 광원을 제공한다. 상기 셔터유닛은 상기 광원부의 하부에 위치하며, 제1 방향을 따라 일렬로 배열되는 복수의 단위셔터들을 포함한다. 상기 렌즈유닛은 상기 셔터유닛의 하부에 위치하며, 상기 단위셔터들 각각에 정렬되는 단위렌즈를 포함한다. 이 경우, 상기 단위셔터들 각각은 독립적으로 구동이 제어되는 액정층을 포함한다.
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