특허보유현황
미세패턴을 가지는 구조물 제작방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020210137237
출원일
2021-10-15
공개번호
1020230054526
공개일
2023-04-25
등록번호
1026799860000
등록일
2024-06-26
IPC 분류
B81C 1/00|B82Y 20/00|B82Y 30/00|B82Y 40/00
대표도면
요약
본 발명은 미세패턴을 가지는 구조물 제작방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 미세패턴을 가지는 구조물 제작방법은 기판에 나노 또는 마이크로 크기의 미세입자를 배열시키는 단계, 상기 미세입자가 배열된 기판에 박막을 증착시키는 단계 및 상기 박막의 증착 두께를 조절하여, 상기 미세입자를 제거하여 증착면에 음각의 미세패턴을 형성하거나 상기 미세입자 위 증착면에 양각의 미세패턴을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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