특허보유현황
플라즈마 진단 시스템
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020210150754
출원일
2021-11-04
공개번호
1020230065009
공개일
2023-05-11
등록번호
1026571490000
등록일
2024-04-08
IPC 분류
H01J 37/32|H05H 1/00
대표도면
요약
본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 진단 시스템은 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 챔버 내부에 설치되며 전자기파를 방사하는 하나의 방사 프로브와 상기 전자기파를 수신하는 복수의 수신 프로브를 포함하는 복수의 프로브; 그리고 상기 복수의 프로브에 연결되며 상기 하나의 방사 프로브와 상기 복수의 수신 프로브 사이로 전달되는 상기 전자기파를 이용하여 상기 플라즈마 특성을 측정하여 상기 플라즈마 챔버 내부의 플라즈마 특성 분포를 분석하는 네트워크 분석기를 포함하고, 상기 방사 프로브와 상기 복수의 수신 프로브 중 어느 하나 사이의 간격은 상기 방사 프로브와 상기 복수의 수신 프로브 중 다른 하나 사이의 간격과 서로 다르다.
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