특허보유현황
※ 본 공고는 설정등록된 특허(특허법 제87조)를 기준으로 작성되었으며, 최신 특허출원은 설정등록 이후 순차적으로 반영됩니다.
기판 고정 장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020210153705
출원일
2021-11-10
등록번호
1024185380000
등록일
2022-07-04
IPC 분류
G03F 7/20|H10P 72/10|H10P 72/70
대표도면
요약
본 발명은 기판 고정 장치에 관한 것으로써, 리소그래피 공정에서 평면형 기판뿐 아니라 다양한 형태의 기판을 견고히 고정할 수 있는 효과가 있다.
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