특허보유현황
각도 조정 및 정렬 기능을 갖는 임프린트 장치 및 임프린트 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020210154395
출원일
2021-11-11
공개번호
1020230068525
공개일
2023-05-18
등록번호
1027319960000
등록일
2024-11-14
IPC 분류
G03F 7/00
대표도면
요약
본 발명은 기판의 표면에 나노미터 혹은 마이크로미터 크기의 구조체를 제작하기 위한 자외선 경화 방식의 나노임프린트 리소그래피 공정 수행을 위한 각도 조정 및 정렬 기능을 갖는 임프린트 장치에 관한 것으로써, 다양한 형태의 기판과 스탬프를 대상으로 임프린트 공정을 원활히 할 수 있다.
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