특허보유현황
※ 본 공고는 설정등록된 특허(특허법 제87조)를 기준으로 작성되었으며, 최신 특허출원은 설정등록 이후 순차적으로 반영됩니다.
비평면기판용 나노임프린트 노광장치 및 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020210158524
출원일
2021-11-17
등록번호
1024150940000
등록일
2022-06-27
IPC 분류
G03F 7/00|B82Y 10/00|B82Y 40/00
대표도면
요약
본 발명은 비평면기판용 나노임프린트 노광장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명의 목적은 일면 또는 양면이 평평하지 않은 비평면기판을 사용하여 임프린트 공정을 수행함에 있어서, 굴절보정수단을 사용하여 비평면기판에서 발생되는 자외선 굴절을 보정함으로써 레지스트 경화가 균일하게 일어날 수 있도록 하는, 비평면기판용 나노임프린트 노광장치 및 방법을 제공함에 있다.
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