특허보유현황
마이크로 소자용 패드 및 이를 이용한 마이크로 소자 전사장치와 전사방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020210158573
출원일
2021-11-17
공개번호
1020230072142
공개일
2023-05-24
등록번호
1026887060000
등록일
2024-07-23
IPC 분류
H10P 72/00|H10P 72/30|H10W 72/00|H10H 29/20
대표도면
요약
본 발명은 마이크로 소자용 패드 및 이를 이용한 마이크로 소자 전사장치와 전사방법에 관한 것으로, 상기 마이크로 소자 전사장치는 구동부에 의해 회전하는 구동풀리와, 상기 구동풀리의 회전 동력을 전달받아 회전하는 피동풀리, 그리고 복수의 마이크로 소자가 구비된 패드가 부착되고 상기 구동풀리와 상기 피동풀리에 연결되어 회전하면서 마이크로 소자를 타깃기판에 전사하는 컨베이어 밸트를 포함한다. 이러한 구성으로, 피동풀리에서의 컨베이어 밸트의 회전 반경을 변경하여 타깃기판에 전사 시에 다양한 목표피치로 전사할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
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