특허보유현황
대면적 심리스 마스터 및 제조방법
출원인
한국기계연구원|주식회사 케이에이피에스
등록상태
등록
출원번호
1020210175693
출원일
2021-12-09
공개번호
1020230087083
공개일
2023-06-16
등록번호
1027164420000
등록일
2024-10-07
IPC 분류
G03F 7/00
대표도면
요약
본 발명은 대면적 심리스 마스터를 제작할 경우 작은 크기의 사각형 형태의 유닛 패턴을 퍼즐 형태로 제작한 대면적 심리스 마스터 제조방법에 관한 것으로서, 상기 대면적 심리스 마스터는 베이스로서의 기판, 상기 기판 상에 서로 접하도록 정렬되는 복수의 유닛 패턴 마스크를 포함하고, 상기 유닛 패턴 마스크는 복수의 피처(feature)를 갖고, 제 1 형상 및 제 1 형상 주위를 둘러싼 복수의 제 2 형상으로 형성되는 대면적 심리스 마스터를 포함한다.
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