특허보유현황
소자 검사 방법 및 이를 수행하는 소자 검사 장치
출원인
한국기계연구원|재단법인 파동에너지 극한제어 연구단
등록상태
등록
출원번호
1020210177317
출원일
2021-12-13
공개번호
1020230089583
공개일
2023-06-21
등록번호
1028657000000
등록일
2025-09-24
IPC 분류
G01N 21/88|G06N 3/08|G01N 21/956|G06Q 30/0283|G06Q 10/20
대표도면
요약
본 발명의 일실시예는 소자의 리페어 비용을 최소화할 수 있는 소자 검사 방법 및 이를 수행하는 소자 검사 장치를 제공한다. 여기서, 소자 검사 방법은 소자 전사 공정이 진행된 기판을 촬영하여 정상 작동할 소자 및 비정상 작동할 소자의 학습영상을 획득하는 단계; 학습영상을 인공지능 학습하는 단계; 제1시점에 획득되고 학습영상이 포함되지 않은 테스트 영상을 인공지능 학습된 기준에 따라 정상 작동할 소자 또는 비정상 작동할 소자로 판정하고, 소자를 리페어하는데 소요되는 제1총리페어 비용을 산출하는 단계; 그리고 제1시점보다 이후인 제2시점에 새로이 소자 전사 공정이 진행된 기판으로부터 획득되는 획득 영상을 인공지능 학습된 기준에 따라 정상 작동할 소자 또는 비정상 작동할 소자로 판정하는 단계를 포함하며, 학습단계는 판정단계에서의 판정에 따라 소자를 리페어하는데 소요되는 제2총리페어 비용이 제1총리페어 비용보다 작아지게 판정하도록 학습된다.
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