특허보유현황
다중 굴절률층을 이용한 빔스플리터 및 이를 포함하는 불량소자 검출장치
출원인
한국기계연구원|재단법인 파동에너지 극한제어 연구단
등록상태
등록
출원번호
1020210177319
출원일
2021-12-13
공개번호
1020230089584
공개일
2023-06-21
등록번호
1027085310000
등록일
2024-09-13
IPC 분류
G02B 27/12|G02B 27/10
대표도면
요약
본 발명의 일실시예는 적외선광은 투과되고 가시광은 반사되도록 하여 고배율 측정이 가능한 다중 굴절률층을 이용한 빔스플리터 및 이를 포함하는 불량소자 검출장치를 제공한다. 여기서, 다중 굴절률층을 이용한 빔스플리터는 다중 굴절률층 및 베이스층을 포함한다. 다중 굴절률층은 제1광은 반사시키고, 제1광보다 파장이 긴 제2광은 투과시킨다. 베이스층은 다중 굴절률층의 후면에 구비되고, 다중 굴절률층을 투과하는 제2광을 투과시킨다. 다중 굴절률층은 제1굴절률을 가지는 제1굴절률층과, 제1굴절률보다 낮은 제2굴절률을 가지는 제2굴절률층을 구비하고, 제1굴절률층 및 제2굴절률층은 교대로 반복하여 배치된다.
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