특허보유현황
롤과 기판 간의 평행도 검출장치 및 검출장치를 이용한 평행도 정렬방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020210177588
출원일
2021-12-13
공개번호
1020230089164
공개일
2023-06-20
등록번호
1026799550000
등록일
2024-06-26
IPC 분류
G01B 11/26|G02B 27/10|G02B 5/08|G02B 26/04
대표도면
요약
본 발명은 롤과 기판 사이의 평행도를 검출할 수 있는 장치 및 그 장치를 사용한 평행도 정렬방법에 관한 것으로써, 스탬프와 기판 상의 평행도를 비접촉식으로 정밀하게 측정하고, 롤 스탬프와 기판 상의 평행도를 맞춤으로써 롤 스탬프와 기판 간 정밀도 높은 수평정렬을 확보할 수 있다.
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