특허보유현황
형상 적응형 임프린트 스탬프 장비 및 임프린트 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020210177590
출원일
2021-12-13
등록번호
1024150980000
등록일
2022-06-27
IPC 분류
G03F 7/00
대표도면
요약
본 발명은 임프린트 시 오목한 형상의 기판 내측에 미세한 패턴을 형성하기 위한 임프린트 스탬프 장비 및 임프린트 방법에 관한 것으로써, 평면 형상의 기판이 아닌 오목한 형상의 기판을 대상으로 임프린트 공정을 원할히 수행할 수 있다.
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