특허보유현황
디지털 노광 시스템
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020220032884
출원일
2022-03-16
공개번호
1020230135422
공개일
2023-09-25
등록번호
1027417270000
등록일
2024-12-06
IPC 분류
G03F 7/20
대표도면
요약
본 발명의 일 실시예에 따른 디지털 노광 시스템은 기판에 광을 조사하는 광원; 상기 광원에서 출사된 광을 선택적으로 투과시켜 2차원 패턴 이미지를 형성하는 디지털 미러 소자; 상기 2차원 패턴 이미지를 1차원 패턴 이미지로 변조하는 광학계; 상기 기판의 위치를 조절하여 상기 기판 위의 감광막에 상기 1차원 패턴 이미지를 연속적으로 스캔 노광하는 기판 스캐너를 포함하고, 상기 2차원 패턴 이미지는 상기 기판의 스캔 방향에 수평한 방향으로는 균일한 이미지를 가지고, 상기 기판의 스캔 방향에 수직한 방향으로는 목표 패턴의 이미지를 가진다.
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