특허보유현황
패치형 플라즈마 진단장치 및 이를 포함하는 플라즈마 진단모듈
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020220042112
출원일
2022-04-05
공개번호
1020230143349
공개일
2023-10-12
등록번호
1027698530000
등록일
2025-02-13
IPC 분류
H01J 37/32|H05H 1/00
대표도면
요약
패치형 플라즈마 진단장치 및 이를 포함하는 플라즈마 진단모듈에서, 상기 플라즈마 진단장치는 기판부, 신호선부, 공진 패턴 및 신호 분석부를 포함한다. 상기 기판부는 플라즈마가 발생하는 구조체의 표면에 탈부착이 가능하도록 부착된다. 상기 신호선부는 상기 기판부 상에 형성된다. 상기 공진 패턴은 상기 기판부 상에 형성되며, 상기 신호선부와 소정 간격 이격되거나 상기 신호선부로부터 연장되어, 인가되는 초고주파를 공진시킨다. 상기 신호 분석부는 상기 신호선부와 유선 또는 무선으로 연결되어 상기 초고주파를 인가하거나 검출하여 플라즈마를 분석한다.
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