특허보유현황

3상 교류 아크 플라즈마 반응기 및 이를 이용한 3상 교류 아크 플라즈마 형성 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020220066023
출원일
2022-05-30
공개번호
1020230166276
공개일
2023-12-07
등록번호
1027480940000
등록일
2024-12-24
IPC 분류
H05H 1/34|H05H 1/28
대표도면
3상 교류 아크 플라즈마 반응기 및 이를 이용한 3상 교류 아크 플라즈마 형성 방법 대표도면
요약
본 발명의 일 실시예에 따른 3상 교류 아크 플라즈마 반응기는 내부 공간을 갖는 하우징, 상기 하우징 내부에 삽입된 복수의 전극들, 상기 전극들과 연결되어 상기 전극들에 3상 전압을 인가하는 전원부, 및 상기 하우징 내부로 기체를 분사하는 기체 공급부를 포함할 수 있다.
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