특허보유현황
마이크로 소자용 전사필름 및 이를 이용한 마이크로 소자 전사장치와 전사방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020220077668
출원일
2022-06-24
공개번호
1020240000895
공개일
2024-01-03
등록번호
1028126760000
등록일
2025-05-21
IPC 분류
H10P 72/00|H10P 72/70|H10W 29/00
대표도면
요약
본 발명은 마이크로 소자의 점착력을 향상시킬 수 있는 마이크로 소자용 전사필름 및 이를 이용한 마이크로 소자 전사장치와 전사방법에 관한 것으로, 상기 마이크로 소자용 전사필름은 굴곡 변형 가능하고 투명한 재질의 베이스부와, 상기 베이스부의 일면에 구비되어 마이크로 소자가 점착되고 마이크로 소자가 점착되는 부분에서 상기 마이크로 소자보다 작은 크기의 관통홈이 형성된 점착부를 포함한다. 이러한 구성으로, 점착부에 관통홈을 형성하고 마이크로 소자 주위 공기의 온도 변화를 통해 마이크로 소자의 점착력을 향상시켜 간단한 구조 및 방법으로 마이크로 소자의 점착력을 향상시킬 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
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