특허보유현황
일체형 플라즈마 진단장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020220091722
출원일
2022-07-25
공개번호
1020240014227
공개일
2024-02-01
등록번호
1027269440000
등록일
2024-11-01
IPC 분류
H01J 37/32|H05H 1/00
대표도면
요약
일체형 플라즈마 진단장치는 플라즈마를 진단하는 진단모듈을 포함하며, 상기 진단모듈은 기판부 및 제1 상부 및 하부 전극들을 포함한다. 상기 제1 상부 및 하부 전극들은 외부로부터 초고주파를 송수신하며, 상기 기판부의 상부 및 하부에 각각 형성된다. 상기 제1 상부 전극과 상기 제1 하부 전극은 서로 반대방향을 향하며 외부로 노출되는 제1 상부 노출부 및 제1 하부 노출부를 각각 포함하고, 상기 제1 상부 노출부 및 제1 하부 노출부는 상기 플라즈마로 초고주파를 제공하거나 상기 플라즈마를 통과한 초고주파를 수신한다.
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