특허보유현황
박막 안테나형 플라즈마 진단장치 및 이를 포함하는 플라즈마 진단모듈
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020220091723
출원일
2022-07-25
공개번호
1020240014228
공개일
2024-02-01
등록번호
1027323810000
등록일
2024-11-15
IPC 분류
H01J 37/32|H05H 1/00
대표도면
요약
박막 안테나형 플라즈마 진단장치 및 이를 포함하는 플라즈마 진단모듈에서, 상기 플라즈마 진단장치는 적어도 2개의 안테나들 및 신호처리부를 포함한다. 상기 안테나들은 플라즈마가 발생하는 공간으로 서로 이격되도록 위치한다. 상기 신호처리부는 상기 안테나들로 초고주파를 인가하거나 검출하여 상기 플라즈마를 분석한다. 또한, 상기 안테나들 각각은, 유전체부, 및 상기 유전체부의 중앙을 따라 형성되며, 상기 플라즈마가 발생하는 공간에 노출되어 인접한 안테나와 상기 초고주파를 송수신하는 신호부를 포함한다.
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